扒一扒激光干涉儀造成測量誤差的原因
點擊次數：1324 更新時間：2021-12-22
激光干涉儀，利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。
干涉儀集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間，但是我們在使用中往往會出現檢測偏離值，偏離我們的預估，以至于在高精度檢測時，對設備產生懷疑。下面，小編就激光干涉儀測量誤差的部分原因進行簡單的介紹，希望能幫助大家！
1、阿貝誤差
因測量光學鏡組的安裝高度不在被測設備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產生的原因是設備移動時存在俯仰、扭擺差。因此，光學鏡組與運動軸偏置距離越遠，引起的阿貝誤差越大。
2、環境因素
環境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計算空氣折射率，以此對激光波長進行補償。1000mm示值因環境溫度、壓力、空氣濕度各自變化引起的示值變化量（單位：um）
3、余弦誤差
激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準直都會造成測得的距離和實際的運動距離之間有差異，此誤差被稱為余弦誤差。當激光干涉儀與運動軸未準直時，余弦誤差會使得測量的距離比實際距離要短。隨著未準直角度的增加，誤差也跟著顯著增加。
4、死程誤差
死程誤差是在線性測量過程中與環境因素改變有關的誤差，在正常狀況下，死程誤差并不大，而且只會發生在定標后以及測量過程中的環境改變。
